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专利技术

(1)耐高温的隔热和及温度记录仪
(2)星形双回转磁控溅射导电玻璃镀膜生产线及生产工艺
(3)一种能自动识别的基片架,识别方法及自动识别装置
(4)柱状磁控溅射器
(5)ITO镀膜板及其制备方法
(6)靶制备ITO膜的方法系统
(7)移动式磁极扫描溅射源
(8)基片架镀膜装置
(9)平面磁控溅射器
(10)基片处理装置
(11)基片冷却装置
(12)自动回车小架
(13)中频反应溅射镀膜设备中反应气体的供气装置
(14)反应溅射二氧化硅与导电膜连镀的气体隔离装置
(15)具有中频反应溅射二氧化硅的氧化铟锡玻璃在线连镀装置
(16)中频反应磁控溅射制备二氧化硅膜设备
(17)旋转式磁控溅射靶
(18)采用中频反应磁控溅射铟锡合金靶制备ITO膜的方法及系统
(19)一种反射膜
(20)一种新型反射膜
(21)一种平面磁控溅射装置
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