薄膜装置产品和镀膜产品并举是豪威的特色。豪威是高新技术企业,多年来一直致力于设备研制、产品开发和科学研究,投入大量的人力和物力引进设备、研制设备、开发新产品。如:国内的第一条ITO导电玻璃生产线是豪威制作的;中频溅射二氧化硅与氧化铟锡在线连镀工艺也是豪威首先开发出来并在自己的设备上使用的,ITO导电玻璃生产无论设备还是产品在行业里都是领头羊。现在的产品研发面更加广泛,如各种导电膜、节能膜、光学膜等等。还承接了国家863项目,与清华大学、东北大学、兰州物理所等学校和科研院所联合培养研究生,获得专利30多项。与国际大公司AE
、AKT、FEP 等都有合作关系。
工艺开发
◆ DC溅射高温沉积ITO薄膜工艺
◆ RF溅射SiO2薄膜沉积工艺
◆ MF反应沉积SiO2 薄膜工艺
◆ 柱状阴极技术
◆ PEM控制的反应沉积TiO2薄膜工艺
◆ 低温沉积ITO薄膜工艺
◆ 四层以上多层膜连续沉积工艺 |